真空系統漏氣的判別
實踐的真空系統達不到預定的極限真空，緣由有三個：
(1)資料放氣
(2)泵的工作不正常
(3)真空系統漏氣
真空系統漏氣的緣由
真空系統漏氣是由各種各樣的微小縫隙形成的。(如玻璃真空系統中燒結的中央夾有臟物微小的炸裂；金屬真空系統中的焊縫，可拆卸部位；電真空器件多半在金屬和玻璃封接，金屬陶瓷封接的中央等等)
真空系統的漏氣不是肉眼能夠判別的，所我們能夠經過將真空系統抽氣，抵達一定壓強后，關閉閥門，讓系統與泵隔斷，然后丈量壓強的變化。經過壓強變化的曲線來辨別是哪種緣由形成真空系統達不到極限壓強。以必需借助一定的辦法來判別真空系統能否漏氣。
(1)a壓強堅持原來的值不變。闡明容器既不漏氣亦不放氣。
(2)b壓強開端上升很快后來呈現飽和狀。闡明主要是放氣。
(3)c壓強直線上升，闡明主要是漏氣。
(4)d壓強開端上升的很快，后來變得較，但不呈現飽和的狀況，這是上述兩種狀況的綜合，即同時存在放氣和漏氣。
斷定了真空系統漏氣后，就能夠著手尋覓漏孔所在的位置，以及漏孔的大小。
漏孔的大小不是幾何尺寸，真空系統中存在的漏孔通常很小，外形也很復雜，很難用漏孔的幾何尺寸來表達。漏孔的實質就是漏氣。
漏孔的大?。和ǔＮ覀冇寐饴蕘肀磉_。如幾個漏孔大小截面能夠不同，但只需漏率（漏氣速率）相等，就以為是完整相同的漏氣速率：普通采用室溫下（20℃），外部為大氣壓強1.0133*105帕時間單位枯燥空氣流過漏孔向真空容器漏入的氣體量來表達： Q0=V · △P/△t
漏率的單位有托升/秒，毫托升/秒，半導體工藝中常用大氣壓毫升/秒，冷凍工程常用毫克/年。目前壓強單位已逐漸改為帕，相應的漏率單位為帕·米3/秒。
漏氣率大小的決議要素有：
（1)漏孔的幾何尺寸
（2)容器外部的壓強
（3)氣體的品種
（4)溫度以及氣體在漏孔中的活動狀態等
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